多晶硅生产包括，（氯氢化）有的公司没有，精馏，还原，气体回收，四个主要单元循环生产，辅助单元硅芯拉制单元，包装破碎单元。其中，还原单元使用的硅芯是在洁净厂房内生产。所以多晶硅生产有还原，和硅芯拉制2个单元对洁净要求很高，对空气中粉尘含量控制严格，必须用除尘设备。
