常见的有变截距型，便面积型，变介电常数型。
但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体（需要具有导电性）作为电容的一个极板，用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离，正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移，就要确保后两者不会变化。
以德国米铱capaNCDT为例，可以测量导体材料和非导体材料（测量非导体材料时，采用变介电常数原理）。绝对误差可以达到0.1微米，分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素（恒定的油污和水也是可以补偿的，不恒定的就会有问题），否则会影响电容的介电常数。
变极距型（改变间隙）、 变面积型和变介电常数型。
变极距型和变面积型又可以分为线位移型和角位移型，变介电常数型一般都是线位移型。
以上的每一种形式又都可以分为单组式和差动式。
可分为单极电容传感器和双极电容传感器这两种
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